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低毒体系凝胶注模ITO靶材坯体的表面起皮现象与抑制研究

杨硕 张大帅 薛建强 师琳璞 赵延飞

杨硕, 张大帅, 薛建强, 师琳璞, 赵延飞. 低毒体系凝胶注模ITO靶材坯体的表面起皮现象与抑制研究[J]. 材料开发与应用, 2020, 35(5): 54-58.
引用本文: 杨硕, 张大帅, 薛建强, 师琳璞, 赵延飞. 低毒体系凝胶注模ITO靶材坯体的表面起皮现象与抑制研究[J]. 材料开发与应用, 2020, 35(5): 54-58.
YANG Shuo, ZHANG Dashuai, XUE Jianqiang, SHI Linpu, ZHAO Yanfei. Oxygen Inhibition Study on Surface of ITO Green Body Prepared by Gel-casting with Low Toxicity System[J]. Development and Application of Materials, 2020, 35(5): 54-58.
Citation: YANG Shuo, ZHANG Dashuai, XUE Jianqiang, SHI Linpu, ZHAO Yanfei. Oxygen Inhibition Study on Surface of ITO Green Body Prepared by Gel-casting with Low Toxicity System[J]. Development and Application of Materials, 2020, 35(5): 54-58.

低毒体系凝胶注模ITO靶材坯体的表面起皮现象与抑制研究

基金项目: 

国家战略性新兴产业发展专项(发改办高技[2012]1029号)

详细信息
    作者简介:

    杨硕,高级工程师,主要从事于光电陶瓷方面的研究;E-mail:longtouys@163.com。

  • 中图分类号: TQ1747

Oxygen Inhibition Study on Surface of ITO Green Body Prepared by Gel-casting with Low Toxicity System

  • 摘要: 针对凝胶注模成型ITO靶材坯体时出现的表面氧阻聚问题,研究了水溶性高分子PEG、PVP和PAM对ITO浆料、坯体性能及氧阻聚引起的起皮厚度的影响。结果表明:PEG的加入对ITO坯体起皮厚度基本没有影响,加入PVP和PAM均可在不同程度上改善坯体起皮状况,尤其当PAM加入量超过1.5%时,可完全消除氧阻聚引起的坯体表面起皮。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2019-12-25
  • 网络出版日期:  2024-03-14

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