电沉积法制备ZrO<sub>2</sub>薄膜的工艺研究

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电沉积法制备ZrO₂薄膜的工艺研究

曹建春, 郭忠诚, 周晓龙, 范莹莹, 李晓林, 张欢

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曹建春, 郭忠诚, 周晓龙, 范莹莹, 李晓林, 张欢. 电沉积法制备ZrO2薄膜的工艺研究[J]. 材料开发与应用, 2004, 19(3): 21-24. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2004.03.007

引用本文:

曹建春, 郭忠诚, 周晓龙, 范莹莹, 李晓林, 张欢. 电沉积法制备ZrO₂薄膜的工艺研究[J]. 材料开发与应用, 2004, 19(3): 21-24. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2004.03.007

CAO Jian-chun, GUO Zhong-cheng, ZHOU Xiao-long, FAN Ying-ying, LI Xiao-lin, ZHANG Huan. Fabrication Process of ZrO2 Film by Electrodeposition[J]. Development and Application of Materials, 2004, 19(3): 21-24. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2004.03.007

Citation:

CAO Jian-chun, GUO Zhong-cheng, ZHOU Xiao-long, FAN Ying-ying, LI Xiao-lin, ZHANG Huan. Fabrication Process of ZrO₂ Film by Electrodeposition[J]. Development and Application of Materials, 2004, 19(3): 21-24. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2004.03.007

曹建春, 郭忠诚, 周晓龙, 范莹莹, 李晓林, 张欢. 电沉积法制备ZrO2薄膜的工艺研究[J]. 材料开发与应用, 2004, 19(3): 21-24. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2004.03.007

引用本文:

曹建春, 郭忠诚, 周晓龙, 范莹莹, 李晓林, 张欢. 电沉积法制备ZrO₂薄膜的工艺研究[J]. 材料开发与应用, 2004, 19(3): 21-24. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2004.03.007

CAO Jian-chun, GUO Zhong-cheng, ZHOU Xiao-long, FAN Ying-ying, LI Xiao-lin, ZHANG Huan. Fabrication Process of ZrO2 Film by Electrodeposition[J]. Development and Application of Materials, 2004, 19(3): 21-24. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2004.03.007

Citation:

CAO Jian-chun, GUO Zhong-cheng, ZHOU Xiao-long, FAN Ying-ying, LI Xiao-lin, ZHANG Huan. Fabrication Process of ZrO₂ Film by Electrodeposition[J]. Development and Application of Materials, 2004, 19(3): 21-24. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2004.03.007

电沉积法制备ZrO₂薄膜的工艺研究

doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2004.03.007

昆明理工大学, 云南昆明 650093

基金项目:

云南省教育厅基金项目(0112083)。

作者简介:
曹建春,女,讲师,博士,主要研究方向为新材料制备及工艺研究、材料的腐蚀与防护技术等

中图分类号: TB43
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- 被引次数: 0
出版历程
- 收稿日期: 2003-11-26
- 网络出版日期: 2024-04-29

Fabrication Process of ZrO₂ Film by Electrodeposition

Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, China

摘要: 研究了水溶液中电沉积ZrO₂薄膜的工艺,系统分析了镀液成分、pH值、电流密度及沉积时间对电沉积ZrO₂薄膜的影响规律,并分析了薄膜的厚度、成分和形貌等。研究结果表明,在硝酸锆水溶液中加入一定量的络合剂和添加剂,可以得到与基体结合好、分布均匀的ZrO₂薄膜。
- 电沉积 /
- 氧化锆 /
- 薄膜
Abstract: ZrO₂ film was electrodeposited in Zr(NO₃)₄ solution. The effects of bath composition, pH, current density and plating time on ZrO₂ film were studied. The composition, morphology and thickness of ZrO₂ film were also investigated.Resultsshowed that high quility ZrO₂ film could be obtained from the aqueous solution by addition of proper complex and additives.
- Electrodeposition /
- ZrO₂ /
- Film

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