液相沉积法制备类金刚石膜的研究

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液相沉积法制备类金刚石膜的研究

王红卫, 孙敏, 沈风雷, 闻荻江

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王红卫, 孙敏, 沈风雷, 闻荻江. 液相沉积法制备类金刚石膜的研究[J]. 材料开发与应用, 2005, 20(5): 17-20. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2005.05.006

引用本文:

王红卫, 孙敏, 沈风雷, 闻荻江. 液相沉积法制备类金刚石膜的研究[J]. 材料开发与应用, 2005, 20(5): 17-20. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2005.05.006

WANG Hong-wei, SUN Min, SHEN Feng-lei, WEN Di-jiang. Study on Diamond-like Carbon Film Prepared by Liquid-deposition[J]. Development and Application of Materials, 2005, 20(5): 17-20. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2005.05.006

Citation:

WANG Hong-wei, SUN Min, SHEN Feng-lei, WEN Di-jiang. Study on Diamond-like Carbon Film Prepared by Liquid-deposition[J]. Development and Application of Materials, 2005, 20(5): 17-20. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2005.05.006

王红卫, 孙敏, 沈风雷, 闻荻江. 液相沉积法制备类金刚石膜的研究[J]. 材料开发与应用, 2005, 20(5): 17-20. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2005.05.006

引用本文:

王红卫, 孙敏, 沈风雷, 闻荻江. 液相沉积法制备类金刚石膜的研究[J]. 材料开发与应用, 2005, 20(5): 17-20. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2005.05.006

WANG Hong-wei, SUN Min, SHEN Feng-lei, WEN Di-jiang. Study on Diamond-like Carbon Film Prepared by Liquid-deposition[J]. Development and Application of Materials, 2005, 20(5): 17-20. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2005.05.006

Citation:

WANG Hong-wei, SUN Min, SHEN Feng-lei, WEN Di-jiang. Study on Diamond-like Carbon Film Prepared by Liquid-deposition[J]. Development and Application of Materials, 2005, 20(5): 17-20. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2005.05.006

液相沉积法制备类金刚石膜的研究

doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2005.05.006

1. 苏州大学材料工程学院, 江苏苏州 215021;
2. 苏州科技学院, 江苏苏州 215021

基金项目:

江苏省基础研究计划(自然科学基金)资助项目

中图分类号: TB383
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出版历程
- 收稿日期: 2005-03-22
- 网络出版日期: 2024-06-15

Study on Diamond-like Carbon Film Prepared by Liquid-deposition

1. Material Engineering School of Suzhou University, Suzhou 215021, China;
2. Suzhou College of Science and Technology, Suzhou 215011, China

摘要: 探讨了用液相法在钛合金表面沉积制备类金刚石膜的可能性,研究了沉积膜工艺条件对膜的影响,得出了适宜的沉积条件。结果表明,通过液相法可以沉积制备得到DLC膜,但与沉积条件有着密切的关系。当电压为1600~1850 V、温度为60~62℃、电极间距为8~10 mm、沉积时间大于36 h时,才能在钛合金表面得到完整的DLC绝缘膜。
- 液相沉积 /
- 钛合金 /
- 类金刚石
Abstract: A new method to prepare diamond- like carbon film on Ti alloy surface by liquid-deposition is introduced.The influence of parameters on the films is discussed and the proper parameters are determined.The results show that DLC can be deposited on Ti alloy by the method of liquid- deposition and the deposition condition has a strong impact on the deposited DLC film.Only when the voltage is 1600~1850 V the temperature is 60~62℃the distance between electrodes is 8~10 mm and the deposition time is more than 36 hoursan insulating DLC film can form on the Ti alloy surface.
- Liquid-deposition /
- Ti alloy /
- Diamond-like carbon

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