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直流电弧法回收ITO废靶技术研究

张雪凤,  常鹏北,  彭晖,  刘冠鹏

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文章导航 > 材料开发与应用  > 2012 >  27(2): 44-46
张雪凤, 常鹏北, 彭晖, 刘冠鹏. 直流电弧法回收ITO废靶技术研究[J]. 材料开发与应用, 2012, 27(2): 44-46. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2012.02.011
引用本文: 张雪凤, 常鹏北, 彭晖, 刘冠鹏. 直流电弧法回收ITO废靶技术研究[J]. 材料开发与应用, 2012, 27(2): 44-46. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2012.02.011
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ZHANG Xue-feng, CHANG Peng-bei, PENG Hui, LIU Guan-peng. Arc Gasification Technology of Recycling ITO Waste Target[J]. Development and Application of Materials, 2012, 27(2): 44-46. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2012.02.011
Citation: ZHANG Xue-feng, CHANG Peng-bei, PENG Hui, LIU Guan-peng. Arc Gasification Technology of Recycling ITO Waste Target[J]. Development and Application of Materials, 2012, 27(2): 44-46. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2012.02.011
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直流电弧法回收ITO废靶技术研究

doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2012.02.011

  • 1. 中国船舶重工集团公司第七二五研究所, 河南 洛阳 471023;

  • 2. 昆明理工大学, 云南 昆明 650216

详细信息
    作者简介:

    张雪凤,1983年生,女,硕士,工程师,中国船舶重工集团公司第七二五研究所,从事纳米粉体及ITO靶材技术研究。E-Mail:zhangxuefeng725@126.com

  • 中图分类号: TQ174.1

Arc Gasification Technology of Recycling ITO Waste Target

  • 1. Luoyang Ship Material Research Institute, Luoyang 471023, China;

  • 2. Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, China

    摘要
  • 摘要: 本文提出一种新型的ITO废靶回收技术,采用直流电弧法将ITO废靶气化制成纳米ITO粉末,实现废靶的回收。借助XRD(X射线衍射)和TEM(透射电子显微镜)等技术对粉末进行表征,发现经回收制备的ITO粉末为单一的立方In2O3结构,颗粒多以四方和类球形两种形貌存在,粒度尺寸在5-200nm范围内。

     

    Abstract: A new technique of DC gasification to recycle ITO waste target was presented in this paper in which ITO waste target changes to ITO nanopowders immediately.The powders obtained were charactrized by means of XRD and TEM.The results showed that the crystal lattice of the powders was single In2O3 cubic configuration,the particle shape presented spherical and hexagonal and the particle size was 5-200 nm.

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2011-11-09
  • 网络出版日期:  2024-03-25

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