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锆钛酸铅（PZT）薄膜的制备及其改性研究

高文娟,  殷明志,  徐驰

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文章导航 > 材料开发与应用  > 2013 >  28(2): 99-106
高文娟, 殷明志, 徐驰. 锆钛酸铅（PZT）薄膜的制备及其改性研究[J]. 材料开发与应用, 2013, 28(2): 99-106. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2013.02.022
引用本文: 高文娟, 殷明志, 徐驰. 锆钛酸铅（PZT）薄膜的制备及其改性研究[J]. 材料开发与应用, 2013, 28(2): 99-106. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2013.02.022
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GAO Wen-juan, YIN Ming-zhi, XU Chi. A Study on Fabrication and Modification of PZT Thin Films[J]. Development and Application of Materials, 2013, 28(2): 99-106. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2013.02.022
Citation: GAO Wen-juan, YIN Ming-zhi, XU Chi. A Study on Fabrication and Modification of PZT Thin Films[J]. Development and Application of Materials, 2013, 28(2): 99-106. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2013.02.022
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锆钛酸铅（PZT）薄膜的制备及其改性研究

doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2013.02.022

  • 西北工业大学理学院, 陕西 西安 710129

基金项目: 

西北工业大学研究生创业种子基金(z2012167)

航天支撑基金(2009613305)

详细信息
    作者简介:

    高文娟,女,1987年生,硕士生,主要从事铁电薄膜材料研究;Email:mengfei127@126.com;殷明志;男,副教授,主要从事电子材料及器件研究,Email:ymingzhi@nwpu.edu.cn。

  • 中图分类号: O614.41

A Study on Fabrication and Modification of PZT Thin Films

  • School of Science, Northwestern polytechnic University, Xi'an, 710129, China

    摘要
  • 摘要: 文章综述了锆钛酸铅(PZT)薄膜的主要制备方法,其中包括射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法、溶胶-凝胶法和金属有机化学气相沉积法。讨论了不同工艺参数对于PZT薄膜的结构和性能的影响,并针对PZT薄膜出现的疲劳现象进行掺杂改性,探讨提高其抗疲劳性能的途径。

     

    Abstract: Lead zirconate titanate(PZT) films for its excellent ferroelectric and piezoelectric properties have been attended extensively. This paper reviewed main preparation methods of the PZT films,such as RF magnetron sputtering method,pulse laser deposition method,sol-gel method and metal organic chemical vapor deposition. Influence of process parameters on the structure and performance of PZT thin films is discussed and improvement of fatigue performance by doping is explored.

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2012-09-07
  • 网络出版日期:  2024-03-21

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