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压力注浆成型ITO靶材坯体的夹层现象及影响因素研究

杨硕 王伟宁 张大帅 朱玉龙

杨硕, 王伟宁, 张大帅, 朱玉龙. 压力注浆成型ITO靶材坯体的夹层现象及影响因素研究[J]. 材料开发与应用, 2018, 33(4): 91-99. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.04.017
引用本文: 杨硕, 王伟宁, 张大帅, 朱玉龙. 压力注浆成型ITO靶材坯体的夹层现象及影响因素研究[J]. 材料开发与应用, 2018, 33(4): 91-99. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.04.017
YANG Shuo, WANG Weining, ZHANG Dashuai, ZHU Yulong. Study on Factors Influencing Interlayer of ITO Green Body by Pressure Slip Casting[J]. Development and Application of Materials, 2018, 33(4): 91-99. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.04.017
Citation: YANG Shuo, WANG Weining, ZHANG Dashuai, ZHU Yulong. Study on Factors Influencing Interlayer of ITO Green Body by Pressure Slip Casting[J]. Development and Application of Materials, 2018, 33(4): 91-99. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.04.017

压力注浆成型ITO靶材坯体的夹层现象及影响因素研究

doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.04.017
基金项目: 

国家战略性新兴产业发展专项(发改办高技[2012]1029号)

详细信息
    作者简介:

    杨硕,工程师,主要从事于光电陶瓷方面的研究。E-mail:longtouys@163.com。

  • 中图分类号: TF124

Study on Factors Influencing Interlayer of ITO Green Body by Pressure Slip Casting

  • 摘要: 以ITO粉体为原料,制备出高固含量浆料,而后采用压力注浆成型获得ITO靶材坯体。研究了模具孔隙尺寸、原料粉以及助滤剂因素对坯体和靶材中间夹层表现程度的影响。结果表明,调整模具孔隙尺寸和加入助滤剂具有减轻甚至消除坯体中间夹层的作用;同时,使用烧结活性更高的原始粉制坯,可明显减轻烧结后靶材中间的夹层。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2018-02-01
  • 网络出版日期:  2024-03-18

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