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极高密度ITO坯体的制备和低温、欠氧烧结研究

杨硕 薛建强 师琳璞

杨硕, 薛建强, 师琳璞. 极高密度ITO坯体的制备和低温、欠氧烧结研究[J]. 材料开发与应用, 2018, 33(6): 68-73. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.06.012
引用本文: 杨硕, 薛建强, 师琳璞. 极高密度ITO坯体的制备和低温、欠氧烧结研究[J]. 材料开发与应用, 2018, 33(6): 68-73. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.06.012
YANG Shuo, XUE Jianqiang, SHI Linpu. Preparation of High-density ITO Green Body[J]. Development and Application of Materials, 2018, 33(6): 68-73. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.06.012
Citation: YANG Shuo, XUE Jianqiang, SHI Linpu. Preparation of High-density ITO Green Body[J]. Development and Application of Materials, 2018, 33(6): 68-73. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.06.012

极高密度ITO坯体的制备和低温、欠氧烧结研究

doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2018.06.012
基金项目: 

国家战略性新兴产业发展专项(发改办高技[2012]1029号)

详细信息
    作者简介:

    杨硕,工程师,主要从事光电陶瓷方面的研究。E-mail:longtouys@163.com。

  • 中图分类号: TF124

Preparation of High-density ITO Green Body

  • 摘要: 以平均粒径为50 nm的气化ITO粉体为原料,加入占原料1.2%的分散剂聚碳酸酯,经球磨、陈腐后再“二次球磨”得到高固含量浆料,而后采用加压注浆成型获得了极高密度坯体。研究了浆料固相含量和粘度的关系,同时研究了浆料固相含量、陈腐时间与坯体密度的关系。将不同密度坯体在较低温度1 530℃和空气(欠氧)气氛中进行烧结,研究了坯体密度对靶材密度的影响规律。结果表明,在1 530℃、欠氧气氛烧结条件下,极高密度ITO坯体(相对密度75%)烧结后可得到外观黑色、相对密度为98.3%的靶材,其密度远高于其他密度更低坯体所烧结的靶材。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2018-06-11
  • 网络出版日期:  2024-03-19

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