溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析

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溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析

李兆博, 马小文, 黄浩, 杜领会, 汪凯, 李兴钰

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李兆博, 马小文, 黄浩, 杜领会, 汪凯, 李兴钰. 溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析[J]. 材料开发与应用, 2019, 34(1): 11-15. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003

引用本文:

李兆博, 马小文, 黄浩, 杜领会, 汪凯, 李兴钰. 溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析[J]. 材料开发与应用, 2019, 34(1): 11-15. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003

LI Zhaobo, MA Xiaowen, HUANG Hao, DU Linghui, WANG Kai, LI Xingyu. Analysis of Cause of Stripe in Sputter Coating Niobium Target Surface[J]. Development and Application of Materials, 2019, 34(1): 11-15. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003

Citation:

LI Zhaobo, MA Xiaowen, HUANG Hao, DU Linghui, WANG Kai, LI Xingyu. Analysis of Cause of Stripe in Sputter Coating Niobium Target Surface[J]. Development and Application of Materials, 2019, 34(1): 11-15. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003

李兆博, 马小文, 黄浩, 杜领会, 汪凯, 李兴钰. 溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析[J]. 材料开发与应用, 2019, 34(1): 11-15. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003

引用本文:

李兆博, 马小文, 黄浩, 杜领会, 汪凯, 李兴钰. 溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析[J]. 材料开发与应用, 2019, 34(1): 11-15. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003

LI Zhaobo, MA Xiaowen, HUANG Hao, DU Linghui, WANG Kai, LI Xingyu. Analysis of Cause of Stripe in Sputter Coating Niobium Target Surface[J]. Development and Application of Materials, 2019, 34(1): 11-15. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003

Citation:

LI Zhaobo, MA Xiaowen, HUANG Hao, DU Linghui, WANG Kai, LI Xingyu. Analysis of Cause of Stripe in Sputter Coating Niobium Target Surface[J]. Development and Application of Materials, 2019, 34(1): 11-15. doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003

溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析

doi: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.003

李兆博^1,2,3,
马小文^1,3,
黄浩^1,3,
杜领会^1,2,3,
汪凯^2,3,
李兴钰^1,3

1. 宁夏东方钽业股份有限公司, 宁夏石嘴山 753000;
2. 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司稀有金属特种材料国家重点实验室, 宁夏石嘴山 753000;
3. 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心, 宁夏石嘴山 753000

作者简介:
李兆博,1980年生,男,工程师,研究方向:钽、铌及其合金的制品、靶材加工工艺与组织性能研究;E-mail:752327649@qq.com。

中图分类号: TG372
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出版历程
- 收稿日期: 2018-05-11
- 网络出版日期: 2024-03-16

Analysis of Cause of Stripe in Sputter Coating Niobium Target Surface

LI Zhaobo^1,2,3,
MA Xiaowen^1,3,
HUANG Hao^1,3,
DU Linghui^1,2,3,
WANG Kai^2,3,
LI Xingyu^1,3

1. Ningxia Orient Tantalum Industry Co., Ltd., Shizuishan 753000, China;
2. State Key Laboratory of Rare Metal Special Materials, Northwest Rare Metal Material Research Institute Ningxia Co., Ltd., Shizuishan 753000, China;
3. National Tantalum & Niobium Special Metal Material Engineering Technology Research Center, Shizuishan 753000, China

摘要: 从晶粒组织分布、织构组份分布、杂质含量分布三个方面对工业生产中溅射镀膜铌靶材表面纹路产生原因进行分析。结果表明,原材料的化学成分分布不均和杂质富集,经过后期的轧制加工,形成铌靶材表面规律性纹路;消除原材料成分分布不均和杂质富集,可避免铌靶材表面规律性纹路的形成。
- 溅射镀膜铌靶材 /
- 表面纹路 /
- 原因分析
Abstract: The cause of stripe in sputter coating niobium target surface during the industrial production practice was analyzed from aspects of metallographic structure distribution, texture component distribution and impurity content distribution.Resultsshowed that the nonuniform chemical composition distribution and impurity concentration in the ingot caused strips in the niobium target surface, and the stripes could be avoided by eliminating chemical composition non-uniformity and impurity richness in the ingot.
- sputter coating niobium target /
- surface stripe /
- reason analysis

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